据《归善县志》记载，元朝有45410人，明嘉靖元年（1522）有27920人，到嘉靖四十一年（1562）40年才发展到28496万人。清康熙六年至四十年（1667-1701）才新增14331人。

民国时期，民国17年-民国23年（1928-1934），惠阳总人口大概659000人。后因抗日战争爆发，民国32年（1943），人口下降至557800人。民国37年（1948），全县人口略有回升，人口数达603255人。

建国后，社会安定，生活改善，人口迅速增加。50、60年代都出现人口出生高峰期。1965年人口出生率高达百分之32.6。70年代初，惠阳开展了计划生育工作，提倡“晚、稀、少”，取得一定成效。但由于50年代人口出生高峰期的影响，70年代后期仍然出现生育高峰期。1990年，惠阳县总人口为500552人，比1982年的总人口增加了77926人，增长了百分之18.44。1994年末，全县总人口503810人，其中男251126人，女252684人。

2008年，全区户籍人口总数为35.72万人（不含澳头、霞涌两个办事处人口），其中：非农业人口16.23万人，占百分之45.4；农业人口19.49万人，占百分之54.6.总人口中，男性18.12万人，占百分之50.7；女性17.6万人，占百分之49.3.

惠阳区居住的民族主要是汉族，出汉族外还有蒙古、回、藏、维吾尔、苗、彝、壮、布依、满、朝鲜、侗、瑶等18个少数民族。

截至2010年11月1日零时，惠阳全区常住人口为572330人，同第五次全国人口普查2000年11月1日零时的470392人相比，十年共增加101938人，增加百分之21.67，年平均增长率为百分之1.98。全区常住人口中中共家庭户166904户，家庭户人口委456502人，平均每个家庭户的人口为2.74人，比2000年第五次全国人口普查的3.81人减少1.07人